НИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ, ОАО

394033, Россия, г. Воронеж, Ленинский пр., 160
+7 (4732) 23-20-46
+7 (4732) 23-47-43

Разработка, изготовление оборудования для процессов фотолитографии, плазмохимической и химической обработок поверхности; оборудования и комплексов для получения особо чистой воды и очистки исходной воды от микрочастиц, минеральных солей, органических веществ, бактериальных загрязнений, коллоидных примесей; контрольно-измерительного и испытательного оборудования и комплексов для контроля параметров полупроводниковых приборов и ИС.