НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ, ОАО

Россия, 394033, г. Воронеж, Ленинский проспект, 160

Разработка, изготовление оборудования для процессов фотолитографии, плазмохимической и хи-мической обработок поверхности; оборудования и комплексов для получения особо чистой воды и очистки исходной воды от микрочастиц, минеральных солей, органических веществ, бактериальных загрязнений, коллоидных примесей; контрольно-измерительного и испытательного оборудования и комплексов для контроля параметров полупроводниковых приборов.